广东微纳院两大中试平台实现产线贯通，与12家企业签约

中试平台建设迎来新突破！7月11日，由广东微纳院建设的“半导体微纳加工、半导体材料外延”两大中试平台实现产线贯通，吸引12家企业签约合作项目，合作高校、院所、企业代表超180人参加，加速佛山半导体产业向“芯”发展。

广东微纳院二期封顶。

12个项目签约

强化企业集聚效应

活动上，“半导体微纳加工、半导体材料外延”两大中试平台各签约6个项目，将为半导体企业提供中试流片、客制化材料外延生长等服务。平台通线后，将具备8吋硅晶圆和氮化镓晶圆加工能力、2~8吋氮化镓基材料外延生长能力。

半导体材料外延中试平台签约客户、广州市鸿利秉一光电科技有限公司，主要生产紫外发光二极管、半导体激光器等半导体产品，多用于光固化、光医疗、消菌杀毒等领域。“我们主要看中广东微纳院有很多新型的、先进的设备，可以依托微纳院进行芯片定制研发，再由我们进行封装技术攻关，一起推动紫外发光二极管和半导体激光器产品发展。”广州市鸿利秉一光电科技有限公司研发总监任荣斌说。

另一家签约半导体微纳加工中试平台的企业——红与蓝半导体（佛山）有限公司，则看中了各级政府对平台的大力支持，以及平台强大的资源背景。“企业落户佛山以来，得到了市、区各级政府的大力支持。而且平台依托中科院苏州纳米所，组建了一支非常专业的团队，在设备维护、保养、操作、运行等方面，都能为企业进行工艺研发提供强有力的支撑，吸引我们不断将资源向佛山倾斜。”红与蓝半导体（佛山）有限公司董事长杨战武说。

截至目前，广东微纳院累计孵化引进各类半导体企业43家，企业估值超30亿元，在半导体微纳加工和材料外延表征等方面具有显著的特色和竞争力。

二期建设封顶

提升平台服务容量

活动当天，历时一年半建设的广东微纳院二期迎来了封顶仪式。

依托两大中试平台，广东微纳院二期建设于2023年3月启动，定位为产业孵化区，建有6万平方米的专业化半导体产业载体。其中洁净厂房3.4万平方米，预计2025年一季度设备安装进场、二季度建成投产，将打造成华南地区洁净面积最大、产业链覆盖最全的专业化技术驱动型主题园区。

广东微纳院副院长王晖表示，将一个毛坯厂房变成能让企业入驻后直接使用的洁净车间，是一项非常复杂的系统性工程。其中包括水电气以及各种环评资质，并非所有企业都具备建设半导体厂房的专业能力和充足资金，“我们把半导体发展所需要素都先准备好，让企业做到进驻即生产，从客户变成邻居。”

据悉，平台除了能提供专业设备、帮助企业进行半导体芯片技术攻关等中试服务外，还为企业提供了超净场地，方便企业直接入驻，与平台共建产线、共研技术、共育人才。

接下来，广东微纳院还将持续扩大平台建设。一是计划投入约3亿元购置新型设备，满足日益增长的产能和企业个性化需求；二是推动三期产业加速区建设，建设标准厂房，打造半导体装备、材料、器件等上下游产业主题园区；三是谋划四期建设。

市区联动协力

加快半导体人才培养

《佛山市半导体及集成电路产业集群发展行动方案（2022-2025年）》提出，加强区域内行业企业和高校院所等开展沟通交流、技术合作活动，到2025年形成本地特色的半导体专业人才引进培养体系。

活动上，广东微纳院与华南师范大学工学部举行了合作签约仪式，并与广东绿展科技有限公司、广东汇芯半导体有限公司、广东鸿浩半导体设备有限公司分别达成产学研合作。多方将开展多层次、多形式的合作，探索“企业家+科学家+工程师”的科技成果转化新模式，以高校资源赋能，以科研院所工程化能力支撑，加速人才链、创新链和产业链的深度融合，实现科技与产业的双向奔赴。

7月9日，南海启动全面深化校地融合高质量发展行动，发布《关于加强校地合作推动科技创新和产业创新深度融合的工作方案》，将与南海区内10所高校（高职）全面深化战略合作，通过优势互补、资源共享，高质量建设湾区产业科技创新高地，打造国内具有竞争力的科技创新开放环境，推动产业与科技互促双强。

“今天，广东微纳院与华师大工学部合作签约，是南海全面深化校地融合高质量发展系列活动的第二站。双方将在成果转化、仪器共享、人才培养和创新创业等方面开展合作。”南海区副区长劳剑锋表示，希望南海能与华师大工学部实现资源共享，通过强强联合，以科技创新推动产业创新，促进社会生产力实现新的跃升。

文/佛山市新闻传媒中心记者霍泳欣

图/佛山市新闻传媒中心记者黎锦健

(编辑：欧肖钰)